




實驗供氣系統使用安全注意事項
1.易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室
內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下:
①可燃氣體比空氣輕者,報警裝置設置在所處場所的頂部。
②可燃氣體比空氣重者,報警裝置設置在所處場所的1低處。
③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖,當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時,事故排風裝置自動開啟,同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。
④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設置阻火器。
⑤可燃氣體在適當的管道處應做接地,但接地電阻應符合相關規(guī)定。
⑥各種可燃氣體管道系統均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口,以便在可燃氣體供應系統使用前后或檢修動火前后對其系統進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質量。
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特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。如需了解更多高純供氣系統的相關信息,歡迎關注艾明坷網站或撥打圖片上的電話詢。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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試驗室集中供氣系統的優(yōu)點
針對過去使用中存在的問題,現代試驗室對載氣的使用環(huán)境進行了改革,即 “集中供氣系統”,即將使用氣體(以下簡稱載氣)集中貯存,然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。其優(yōu)點主要有以下幾點:
1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間,如果與試驗室在同一大樓內,則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間,這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離,即使有害氣體有泄漏,也不會發(fā)生直接傷害。不應在封閉空間內用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據氣體性質分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。
3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯然后通過一個出口統一減壓后運送氣體至使用點。檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率。因為氣瓶間是相對獨立的,整個氣路系統壓力1大的地方也是氣瓶出口處,因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內,可對人體及儀器的傷害可降到1低。
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